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OSAKA渦輪分子泵TG-F系列由多層轉(zhuǎn)子葉片和定子葉片組成。 下圖所示的是葉片的角度以及旋轉(zhuǎn)方向的關(guān)系 氣體分子從高真空側(cè)進入泵內(nèi)，附著于轉(zhuǎn)子葉片后將按照麥克斯韋分布朝不同方向脫離。 然而，由于葉片的傾斜角度和旋轉(zhuǎn)，分子飛入下一層，并且容易穿過定子葉片再向下。 同時，從下層飛入并通過固定葉片后逆行的氣體分子，也能通過與轉(zhuǎn)子葉片碰撞再次飛到下一層。
更新時間：2025-01-07
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